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学术活动

“芯”耀江海微电讲坛(第27期)

发布时间:2026-06-26 浏览次数:10

报告嘉宾:韦学勇,西安交通大学

报告题目:高性能MEMS加速度传感器研制及应用

报告时间:6月26日(周五)下午3:00

报告地点:5号楼110会议室

报告摘要:

MEMS加速度传感器凭借其小型化、低功耗、高集成度等优势,在汽车安全、工业控制等领域占据重要地位,同时在航天和国防军工领域也有着不可替代的作用。无论是高分辨率遥感卫星微振动的检测,火箭发射过程中的振动监测与姿态控制,还是弹药发射参数监测和炸弹爆炸落点的精确定位,都对传感器提出了更高的性能要求,然而面向极端条件下感知测试的高端传感器要么存在空白,要么被国外垄断。报告人及团队在非线性MEMS研究基础上,聚焦高性能MEMS传感器研制,提出了超谐同步共振增强感知机理,非线性反弹簧结构设计和闭环力平衡控制方法等技术,解决了增敏、降噪、拓频等技术难题,研制出系列高灵敏低噪声MEMS加速度传感器。本报告将重点介绍高性能MEMS加速度传感器的最新研究进展及其在振动检测中的应用。

报告人简介:

韦学勇,西安交通大学仪器科学与技术学院党委书记,国家“万人计划”科技创新领军人才,教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室执行主任。主要从事微机电系统、传感器和测试技术等研究。主持国家重点研发计划专项、国防973课题等项目20余项。发表论文200余篇,获授权发明专利50余项。曾获国家科技进步二等奖,中国仪器仪表学会科技进步奖一等奖和陕西省青年科技奖等。现任中国工程院院刊《Engineering》机械与运载工程学科执行主编、自然出版集团Microsystems & Nanoengineering期刊编委,中国仪器仪表学会常务理事,中国微米纳米技术学会理事兼副秘书长,并多次担任国内和国际学术会议主席、分会主席、组委会主席等。